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v 應用：半導體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)、導電薄膜(金屬、離子等)，擴散層，硅相關外延材料，離子注入樣品
v 樣品尺寸：基于所選擇的平臺而定，圓形樣品支持300mm(12 inch)，或方形尺寸730x920mm
v 測量范圍：
? V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω
? 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
? 電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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