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一、產品介紹
CIF透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源設計,清洗快速高效,低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。
二、產品特點
u 遠程離子清洗源
u 一機多用
u 清洗快速高效,低轟擊損傷
三、技術參數
產品型號  | CIF-TEM  | 
等離子電源  | 13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-120W可調  | 
遠程等離子源,自動匹配器  | |
清洗室  | 清洗室尺寸?180xH100mm  | 
清洗數量  | 可同時清洗3支TEM樣品桿  | 
適配品牌  | THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷歐路JEOL  | 
氣體控制  | 標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響  | 
氣源選擇  | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇  | 
真空控制  | 質量流量計(MFC),皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr  | 
真空保證  | 真空計和電磁閥安全互鎖  | 
操控方式  | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面  | 
真空泵  | 前級泵  | 
抽氣速率2 L/s  | |
分子泵  | |
極限真空:CF:5x10-6Pa,ISO-K: 3x10-5Pa  | |
分子泵抽速>80L/s (N2)  | |
入口法蘭:DN100CF/DN100 ISO-K  | |
質量保證  | 二年質保,終身維護  | 
電 源  | 220V,50/60Hz,300W  |