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減薄機

簡要描述:v可根據客戶需求定制化各類工作臺

基礎信息

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更新時間

2024-10-22

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558
詳細介紹

v 可根據客戶需求定制化各類工作臺,滿足各類半導體材料的研削薄化工藝

v 晶圓尺寸:8英寸

v 砂輪規格:?203(OD)mm

v 砂輪軸轉速范圍:0~6000 RPM

v 工作臺轉速:0~400 RPM

v Z軸行程:130mm

v Z軸進給速度:0.1~1000 um /sec   可選配最小0.01um/sec

v 厚度在線測量分辨率:0.1um

v 厚度在線測量重復精度:±0.001 mm


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